远程等离子源 Ares_1008L(8L)

财盈国产替代产品 —— 远程等离子体源 RPS 8L

ARES_1008L 

Ares_1008L是一种基于铁氧体磁芯的等离子体源，配备可变频电源。

产品特点  

· 高功率稳定输出：提供稳定的等离子体源，确保处理效果一致。

· 远程控制：支持远程操作和监控，可通过软件实时查看运行参数。

· 多种气体兼容性：能够处理多种气体，适应不同工艺需求。

· 紧凑设计：设备结构紧凑，便于现场安装和维护。

·安全保护功能：内置多种安全保护机制，确保设备和操作人员安全。

 工作原理 

通过将气体输送到装置中，利用电场或者磁场在真空环境下反应产生等离子体，然后将等离子体传输到需要处理的表面区域，用于周期清洁，薄膜和涂层沉积的主处理室。

Ares_1008L设备由三相280VAC，50~60Hz电源驱动，兼容输入电源连接的任意相位旋转。采用水冷和风冷设计，以确保可靠和稳定的操作。中频驱动铁氧体等离子体源，电源通过固态匹配装置直接耦合到等离子体腔的主绕组上。绕组中的电流在铁氧体磁芯和等离子体腔内部分别诱导出受阻的磁通量和感应等离子体。腔体表面（材料）与多种气体和化学物质兼容。

模拟接口定义

模拟远程接口为Ares_1008l提供基础、快速的远程控制选项。该接口为DB25。在模拟接口状态下，所有输入和输出使用与机壳接地隔离的差分信号。模拟接口将持续在其输出引脚上提供状态信息。可以通过计算机控制通过模拟远程接口运行自动化过程。

 技术参数