新品推出！财盈SRF-3000射频电源介绍

该设备中的功放模块产生高频电压、电流，将常规使用的208V电压和频率50/60HZ转换为可变的13.56MHZ电压电流。

（一）半导体制造

在半导体芯片的刻蚀、沉积、离子注入等关键工艺环节，SRF3000凭借其精准的频率和功率控制、高效的集成匹配以及稳定的性能，为芯片制造提供稳定可靠的等离子体电源解决方案，助力提升芯片制造的精度和良品率。

（二）平板显示生产

在平板显示面板的制造过程中，如 TFT - LCD、OLED 等工艺，SRF3000可满足不同工艺阶段对射频电源的需求，确保薄膜沉积均匀、刻蚀精准，提升面板的显示质量和生产效率。

（三）光伏产业

在光伏电池的生产中，无论是硅片的刻蚀、薄膜的沉积还是电池的钝化等工艺，SRF3000都能以其卓越的性能为光伏电池的生产提供稳定的能量供应，助力提高光伏电池的转换效率和生产质量。

（一）精准频率控制

• 稳定基准频率：具备 13.56 MHz±.005% 的精准频率输出，为等离子体工艺提供稳定可靠的基础条件，确保每一次工艺过程的一致性。

• 灵活频率调谐：支持频率调谐范围为±5%，可根据不同工艺需求进行灵活调整，无论是精细的刻蚀工艺还是均匀的沉积过程，都能精准适配。

（二）卓越功率性能

• 宽功率调节范围：功率覆盖30W - 3000W，满足从实验室研发到大规模工业生产的多样化功率需求。

• 高精度功率调节：功率可调精度达到 0.1 瓦，实现对功率的精细控制，保证工艺过程的稳定性和可重复性。

• 双级脉冲功能：支持双级脉冲功能，可灵活设置脉冲的频率、占空比等参数，满足不同工艺对脉冲特性的严格要求，为复杂工艺提供更多可能性。

（三）高效集成匹配

• 一体化架构：采用一体化集成匹配架构，实现亚毫秒级快速动态响应能力。在负载阻抗发生变化时，能迅速做出调整，确保射频能量高效传输，减少能量损耗。

• 全数字控制：运用全数字控制技术，通过高精度 ADC 实时采集反射功率、正向功率等关键数据，由数字信号处理器（DSP）进行快速运算与控制，提升匹配精度和系统稳定性。

（四）便捷控制方式

• 丰富通信接口：配备RS - 232、用户端口、以太网等接口，方便与其他设备进行通信和集成控制。无论是本地操作还是远程监控，都能轻松实现，满足现代化生产的智能化管理需求。

• 远程操作功能：可实现远程监控、参数设置和数据传输等功能，让您坐在办公室就能对生产线上的设备进行实时管理和调整，提高生产效率。

（五）全方位保护机制

• 多重保护功能：拥有完善的过流保护、过压保护、过热保护等机制，在设备运行出现异常情况时，能迅速启动保护措施，有效保护设备不受损坏，确保系统长期稳定运行。

（六）同步运行保障

• 相位同步功能：具有相位同步功能，可实现多个系统在集群配置中的同步运行，确保工艺的一致性和稳定性，尤其适用于大规模生产场景下对工艺精度的严格要求。

（七）先进弧管理

• 高效电弧处理：先进的弧管理功能，能够快速检测和处理等离子体中的电弧现象，减少电弧对工艺的影响，提高工艺的重复性和产品质量，降低次品率。

（八）友好操作界面

• 兼容操作体验：完全兼容AE VFP，支持中英文界面，无论是国内还是国外的操作人员，都能轻松上手，减少操作培训成本，提高工作效率。