射频匹配器

射频匹配器RFM-25013

替代产品：

· AE Navigator

· AE Navigator Ⅱ

产品特点：

· 采用全数字控制架构，匹配更快更准，配方一键更换，缩短工艺调试周期，提升设备稼动率与产能

· 采用独创优化算法动态调节电容转速，从根源消除多腔室匹配串扰，保障腔室间工艺一致性，稳定良率

· 核心采用耐大电流高电压真空功率器件，匹配精度高、反射功率低，有效降低Fab运维成本

· ms级高速自动调谐，宽阻抗匹配范围，与主流射频电源无缝对接，真空兼容设计适配洁净室环境

核心参数：